- 利用超高分辨率X射线显微镜实现纳米级结构的无损可视化 -

Rigaku Holdings Corporation（总部：东京昭岛；首席执行官：Jun Kawakami；以下简称“Rigaku”）旗下集团公司Rigaku Corporation凭借一种用于检测3D闪存缺陷的突破性无损检测方法，荣获Diana Nyyssonen纪念最佳论文奖（以下简称“该奖项”）。这项检测与测量技术（以下简称“该技术”）运用了超高分辨率X射线显微镜。

该奖项旨在表彰在国际光学工程学会(SPIE)先进光刻与图案化会议中，于测量、检测和过程控制领域发表最具影响力论文的团队。这些会议会发布应用于半导体制造的光刻技术的最新研究成果。

在3D闪存生产过程中，一个难题是对嵌入式金属结构以及被称为“存储孔”的极深孔的形状进行检测和测量。

Rigaku团队研发的这项技术利用X射线实现了超高分辨率，其检测极限是最先进光学显微镜的十分之一甚至更低。除了能够揭示纳米级的极细微结构，该技术还能对硅基片上形成的器件进行无损观测。正是这种解决方案的突破性，说服了会议主办方授予该奖项。

论文作者之一、X射线研究实验室总经理Kazuhiko Omote表示：“通过引入搭载这项技术的设备，3D闪存生产现场有望提高成品率并优化生产流程。Rigaku计划在大约两年内将这项技术投入实际应用。”

展望未来，Rigaku旨在利用这项技术追求更多创新成果，比如将其应用于多层器件连接部分的电导率检测和测量。

奖项公告详情

论文标题：利用超高分辨率X射线显微镜对3D闪存中的金属结构进行无损检测

网址：https://rigaku-holdings.com/pdf/Proc. of SPIE Vol. 12955 129551B.pdf

关于Rigaku Group

自1951年成立以来，Rigaku集团的专业工程技术人员一直致力于利用尖端技术造福社会，尤其是在X射线和热分析等核心领域。Rigaku的市场遍及90多个国家，在全球九个分支机构拥有约2000名员工，是工业界和研究分析机构的解决方案合作伙伴。我们的海外销售比例已达到约70%，同时在日本保持着极高的市场份额。我们与客户一起不断发展壮大。随着应用领域从半导体、电子材料、电池、环境、资源、能源、生命科学扩展到其他高科技领域，Rigaku实现了“通过推动新视角来改善我们的世界”的创新。

左起：获奖人X射线研究实验室总经理Kazuhiko Omote；以及X射线实验室先进分析技术研究部成像组的Raita Hirose（照片：美国商业资讯）

左起：获奖人X射线研究实验室总经理Kazuhiko Omote；以及X射线实验室先进分析技术研究部成像组的Raita Hirose（照片：美国商业资讯）

奖状（照片：美国商业资讯）

奖状（照片：美国商业资讯）

使用该技术检测和测量的硅片中200纳米级孔图案（图示：美国商业资讯）

使用该技术检测和测量的硅片中200纳米级孔图案（图示：美国商业资讯）